NEO200Aは、Trymaxの先進的なアッシングおよびエッチング製品の中で、最小フットプリント単一チャンバーのプラットフォームです。
これは完全自動化の単一チャンバーシステムで、現在利用可能なTrymax NEOプロセスモジュールのいずれかと組み合わせることができます。200mmまでの基板に対応可能です。NEO200Aは小フットプリントですが、デュアルカセットで構成されています。
100 / 150 /200mm ウエーハ径対応
デュアルカセット
4軸デュアルアームロボット搬送
4種類のプロセスチャンバー
マイクロ波 (2.45 GHz)
RF (13.56 MHz)
デュアルソース (マイクロ波、RF)
CCP (13.56Mhz)
搬送スループット> 100枚毎時以上
コンパクトな設置面積
低COO
全デジタル制御、標準化ネットワーク
Windowsベースの産業用コンピュータ
シングルスロット冷却ステーション
ユーザーインターフェイス（フロント＆リア）
レジスト剥離
デスカム
ポリマー除去
高ドーズ注入後の剥離
SiN/SiCエッチングアプリケーション
TaSiエッチング
MEMSプロセス
先端パッケージ用プロセス (PR, PI, BCB, PBO)
RFフィルター、BAW/SAWレジストプロセス
CE EU-RoHs
UL規格（オプション）
ファブホスト制御 SECS-II
ご質問があれば、どうぞお気軽にメールまたはお電話ください +31 (0)24 350 08 09
