NEO3400シリーズのプラットフォームは、Trymaxtによる業界をリードするNEOの先進プラズマアッシングおよびエッチング製品群のの最新装置の一つです。
大量生産に対応し、あらゆる生産段階や予算に適応可能です。NEO3400システムは、Trymax社のNEOプロセスモジュールのいずれかと構成可能で、300mm径までのウエーハに対応しています。小フットプリントとモジュール式設計は、お客様の生産要求に応じて柔軟に構成可能です。
このプラットフォームは、200mmおよび300mm径のウエーハを処理することができるフルブリッジツールとして使用できます。
200 / 300mm ウエーハ径対応
FOUP 4台
4軸デュアルアームロボット搬送
2基または4基のプロセスチャンバー
4種類のプロセスチャンバー
マイクロ波 (2.45 GHz)
RF (13.56 MHz)
デュアルソース (マイクロ波、RF)
DCP (direct capacitive coupled plasma)
搬送スループット >300枚毎時以上
コンパクトな設置面積
低COO
全デジタル制御、標準化ネットワーク
Windowsベースの産業用コンピュータ
OHT or AGV
レジスト剥離
デスカム
ポリマー除去
高ドーズ注入後の剥離
SiN/SiCエッチングアプリケーション
TaSiエッチング
MEMSプロセス
先端パッケージ用プロセス (PR, PI, BCB, PBO)
RFフィルター、BAW/SAWレジストプロセス
SEMI S2-01
SEMI S8-01
CE EU-RoHs
UL規格（オプション）
ウエーハアライナー（OCR読取一体）
冷却ステーション
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