NEO3000製品ラインは、Trymaxの先進的なプラズマアッシングおよびエッチングに使用されている、NEOシリーズの中でも長く使用されている確立された装置です。

大量生産に対応し、あらゆる生産段階や予算に適応可能です。NEO3000システムは、Trymax社のNEOプロセスモジュールのいずれかと構成可能で、300mm径までのウエーハに対応しています。小フットプリントとモジュール式設計は、お客様の生産要求に応じて柔軟に構成可能です。

このプラットフォームは、200mmおよび300mm径のウエーハを処理することができるフルブリッジツールとして使用できます。