NEO2000製品ラインは、Trymaxtによる先進的なプラズマアッシング/エッチングシステムで、最新のフォトレジスト除去技術を用いて非常に競争力のある価格で卓越した性能を提供します。NEO2000は、100mmから200mm径の基板での用途に特化して設計されています。

超高速ウエーハ搬送プラットフォームを備え、ハードウェアの変更無しで異なるサイズのウエーハを同時に取り扱える柔軟性と設定が可能です。NEO2000シリーズはコンパクトなモジュール設計で、高いスループットを実現して最低のCOOを実現できます。