NEO2400シリーズのプラットフォームは、Trymaxによる業界をリードするNEOの先進プラズマアッシングおよびエッチング製品の中の最新装置の一つです。
NEO2400プラットフォームは、Trymax社のNEOプロセスモジュールのいずれかと組み合わせることができ、200mm径までのウエーハに対応しています。
このプラットフォームは、200mm径までの異なる種類や直径のウエーハを処理することができるフルブリッジツールとして使用できます。
100 / 200mm ウエーハ径対応
4台のカセットステーションまたは4台のSMIF
4軸デュアルアームロボット搬送
2基または4基のプロセスチャンバー
4種類のプロセスチャンバー
マイクロ波 (2.45 GHz)
RF (13.56 MHz)
デュアルソース (マイクロ波、RF)
CCP (13.56Mhz)
搬送スループット >300枚毎時以上
コンパクトな設置面積
低COO
全デジタル制御、標準化ネットワーク
Windowsベースの産業用コンピュータ
冷却ステーションとウェハーアライナー(OCRリーダー一体)
レジスト剥離
デスカム
ポリマー除去
高ドーズ注入後の剥離
SiN/SiCエッチングアプリケーション
TaSiエッチング
MEMSプロセス
先端パッケージ用プロセス (PR, PI, BCB, PBO)
RFフィルター、BAW/SAWレジストプロセス
SEMI S2-01
SEMI S8-01
CE EU-RoHs
UL規格（オプション）
AGV and OHT
TAIKOウエーハハンドリング
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